中照网logo

新闻

>首页 > 新闻 > 企业动态 >正文

Veeco推出Lumina As / P MOCVD平台,将加速Micro/Mini LED器件的生产

2020-02-21    

中国照明网报道

7424

导语: 美国纽约州普莱恩维尤的外延沉积和工艺设备制造商Veeco Instruments Inc.推出了Lumina金属有机化学气相沉积(MOCVD)平台,该平台结合了专有的TurboDisc反应器技术,具有出色的薄膜均匀性,产量和设备优势。适用于各种光子学应用。

  美国纽约州普莱恩维尤的外延沉积和工艺设备制造商Veeco Instruments Inc.推出了Lumina金属有机化学气相沉积(MOCVD)平台,该平台结合了专有的TurboDisc反应器技术,具有出色的薄膜均匀性,产量和设备优势。适用于各种光子学应用。新的MOCVD平台,包括Lumina R480和Lumina R480S型号,将加速垂直腔表面发射激光器(VCSEL),边缘发射激光器(EEL)和Micro/Mini LED器件的生产。

  为了满足消费者对磷化砷(As / P)MOCVD技术的强烈需求,Lumina平台针对新一代高效光电器件,包括用于3D感测,自动驾驶和高速数据通信的VCSEL。Lumina平台还设计用于微型和微型LED生产,用于下一代4K和8K电视,智能手机和可穿戴设备以及用于光通信和硅光子学应用的EEL设备中的高级显示器。

  产品线管理高级副总裁Gerry Blumenstock表示:“领先的光子学制造商目前正在看到我们的Lumina MOCVD系统的好处,并正在验证其对大批量光子学设备制造的影响。” 他相信:“凭借成熟的设计,技术和性能,Lumina为下一代光子学设备提供了令人兴奋的机会。”

  Lumina R480和R480S系统基于Veeco的MOCVD TurboDisc技术,该技术在长时间的生产过程中具有高均匀性和低缺陷率,可实现高产量和灵活性。此外,该公司的专有技术可实现均匀的热控制,从而实现了极好的厚度和成分均匀性。该系统提供了无缝的晶圆尺寸转换功能,能够在直径最大6英寸的晶圆上沉积高质量的As / P外延层。Veeco说,R480和R480S系统允许用户定制其系统以实现最大价值。

编辑:严志祥

来源:行家说

标签:Veeco  Lumina  As  /  P  MOCVD平台  Micro  LED  Mini  LED  

只有登录之后才可以评论,请点击这里评论

在线评价

表情

输入验证码:   

验证码

发表评论

smile
扫一扫
二维码
  • 手机网 手机网
  • 微信公众号 微信公众号
Top
中国照明网官方在线QQ咨询:AM 9:00-PM 6:00
广告/企业宣传推广咨询:
活动/展会/项目合作咨询: 市场部
新闻/论文投稿/企业专访: 李先生
媒体合作/推广/友情链接: 市场部

中国照明网网友交流群:2223934、7921477、9640496、11647415

中国照明网照明设计师交流群:2223986、56251389

中国职业照明设计师QQ群:102869147

X